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高功率RF MEMS开关的热管理

本公开总体涉及用于制造可以切换大电功率的MEMS开关的机构。采用额外的着陆电极,其提供沿着MEMS器件的增加的电接触,使得在接触时移除靠近最热点的MEMS结构中的电流和热量。

2020-07-28 00:00:00 散热热传专利
高功率RF MEMS开关的热管理

本公开总体涉及用于制造可以切换大电功率的MEMS开关的机构。采用额外的着陆电极,其提供沿着MEMS器件的增加的电接触,使得在接触时移除靠近最热点的MEMS结构中的电流和热量。

2018-07-31 00:00:00 散热热传专利

高功率RF MEMS开关的热管理