发明授权：高功率RF MEMS开关的热管理

1.一种MEMS器件,包括：其中形成有多个电极的衬底,其中所述多个电极至少包括锚电极、拉入电极和RF电极；设置在所述多个电极和所述衬底之上的绝缘层；设置在所述绝缘层之上的开关元件,其中所述开关元件包括锚部分、腿部分和桥部分,并且其中所述锚部分电耦接到所述锚电极；耦接到所述RF电极的第一柱,其中所述第一柱直接设置在所述绝缘层上；以及电耦接到所述锚电极的第二柱,其中所述开关元件能够在与所述第一柱和所述第二柱间隔开的第一位置和与所述第一柱和所述第二柱接触的第二位置之间移动。