一种基于LTCC工艺的大尺度微流道制作方法

本发明公开了一种基于LTCC工艺的大尺度微流道制作方法,属于元器件技术领域,其步骤包括：制作牺牲材料预制块粗坯和支撑材料预制块粗坯,加工复合牺牲预制块,在LTCC基板叠层工艺时将复合牺牲预制块放入LTCC基板生瓷中,将复合牺牲预制块、LTCC生瓷基板压合并烧结,进一步加工成形；本发明的基于LTCC工艺的大尺度微流道制作技术,其优点是材料简单,工艺兼容性好,易于加工,能够制作截面积为20*0 35mm的大尺度微流道,从而大大降低了微流道LTCC产品设计和加工难度；也大大增强了LTCC基板的冷却能力,从而满足高热流密度热管理需求,具有很强的实用价值。