发明公开：一种基于LTCC工艺的大尺度微流道制作方法

1.一种基于LTCC工艺的大尺度微流道制作方法,其特征在于,包括以下步骤：a.分别制作牺牲材料预制块粗坯和支撑材料预制块粗坯；b.分别将步骤a所得的牺牲材料预制块粗坯和支撑材料预制块粗坯加工成牺牲材料预制块和支撑材料预制块；c.将步骤b所制得的牺牲材料预制块和支撑材料预制块组成复合牺牲预制块,然后在LTCC基板叠层工艺时将所述复合牺牲预制块放入LTCC基板生瓷中；d.将复合牺牲预制块、LTCC生瓷基板压合在一起；e.将步骤d压合在一起的LTCC生瓷基板进行烧结,得到半成品；f.将步骤e所得的半成品加工成最终所需大尺度微流道LTCC基板所需外形。