发明授权：一种柔性压力温度集成薄膜阵列传感器敏感元及制备方法

1.一种柔性温度压力集成薄膜阵列传感器敏感元,其特征在于,包含：支撑传感器敏感元的柔性衬底(1),与安装面连接；提高传感器敏感元敏感度的热管理薄膜组合体,设置在所述柔性衬底(1)上；功能薄膜组合体,设置在所述热管理薄膜组合体中的两层级之间,将传感器敏感元感知的压力变化信号与温度变化信号转换为电流信号,独立采集传感器敏感元不同区域压力、温度变化信号,并感知压力与温度变化的位置；所述热管理薄膜组合体包含：绝热层(2),设置在所述柔性衬底(1)上,降低所述柔性衬底(1)的热容对敏感元性能的影响；用于调控热流传导的热控层(7),设置在所述绝热层(2)的上方；导热层(8),设置在所述热控层(7)上,将敏感元上表面感应到的热流传递到热控层(7)上；红外反射层(9),设置在所述导热层(8)上,降低环境红外热辐射对敏感元的影响。