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发明公开:多基板热管理设备

[公开日期] 2017-04-19 [公开号] CN106575619A
#应用材料公司 #K·贝拉 #K·韦洛尔 #A·康斯坦特 #J·
本文中提供了多基板热管理设备的实施例。在一些实施例中,多基板热管理设备包括:多个板,所述多个板竖直地布置在彼此上方;多个通道,所述多个通道延伸穿过所述多个板中的每一个;供应歧管,所述供应歧管包括供应通道,所述供应通道在第一位置耦接到所述多个板;以及返回歧管,所述返回歧管包括返回通道,所述返回通道在第二位置通过多个支腿耦接到所述多个板,其中所述供应通道和所述返回通道被流体耦接到所述多个通道,以使传热流体流过所述多个板。

一种多基板热管理设备,所述多基板热管理设备包括:多个板,所述多个板竖直地布置在彼此上方;多个通道,所述多个通道延伸穿过所述多个板中的每一个;供应歧管,所述供应歧管包括供应通道,所述供应通道在第一位置耦接到所述多个板;以及返回歧管,所述返回歧管包括返回通道,所述返回通道在第二位置通过多个支腿耦接到所述多个板,其中所述供应通道和所述返回通道被流体耦接到所述多个通道,以使传热流体流过所述多个板。
附件:多基板热管理设备 免费下载

类型:发明公开
发明人:K·贝拉,K·韦洛尔,A·康斯坦特,J·
专利权人:应用材料公司
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