发明公开：具有含有最小串扰的热隔绝区的静电夹盘

一种基板支撑组件,包括：陶瓷定位盘；以及导热基底,所述导热基底具有与所述陶瓷定位盘的下表面接合的上表面,其中所述导热基底包括：数个热区；以及数个热隔离器,所述数个热隔离器从所述导热基底的上表面朝向所述导热基底的下表面延伸,其中所述数个热隔离器中的每一个提供在所述导热基底的上表面处的所述数个热区中的两个热区之间的一定程度的热隔离。