发明公开：用于在对温度敏感的基板上热管理高温过程的系统和方法

一种用于在具有相对的前外表面和后外表面的柔性聚酰亚胺基板上沉积一个或多个薄膜层的方法,所述方法包括以下步骤：加热所述柔性聚酰亚胺基板,以使得所述柔性聚酰亚胺基板的所述前外表面的温度高于所述柔性聚酰亚胺基板的所述后外表面的温度；以及在所述柔性聚酰亚胺基板的所述前外表面上沉积所述一个或多个薄膜层。