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发明公开:制备导电薄膜的方法和由该方法制得的制品

[公开日期] 2010-01-27 [公开号] CN101636436B
#道康宁公司 #卡尔·费尔班克 #马克·费舍尔
一种自由立膜,包括:i 基体层,其具有相对的表面,和ii 纳米棒 阵列,其中纳米棒定向的穿过基体层并从基体层的一个或两个表面伸出至 少1微米的距离。一种制备自由立膜的方法,包括:(a)在基底上提供纳米 棒阵列,任选的,(b)用牺牲层渗透该阵列;(c)用基体层渗透该阵列,由 此产生渗透的阵列;任选的,(d)当步骤(b)存在时,除去牺牲层,保留基 体层;和(e)将渗透的阵列从基底平面上移除。根据所选用纳米棒的类型和 密度,自由立膜可以用于作为滤光片、ACF、或TIM。

1.一种方法,包括: (a)在基底上提供纳米棒阵列, 任选的,(b)用牺牲层渗透该阵列; (c)用基体层渗透该阵列,由此产生渗透的阵列; 任选的,(d)当步骤(b)存在时,除去牺牲层,保留基体层;和 (e)将渗透的阵列从基底平面上移除,以形成自由立膜,其中基体层具 有正反相对的表面,纳米管定向排列,穿过基体层,并从基体层的一个或 正反两个相对的表面上伸出至少1微米的距离。
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类型:发明公开
发明人:卡尔·费尔班克,马克·费舍尔
专利权人:道康宁公司
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