发明公开：螺接式晶片夹具热管理系统及用于晶片处理系统的方法

一种定位工件以供处理的工件固持器,所述工件固持器包括：基本上圆柱形的定位盘；第一加热装置,安置为与所述定位盘的径向内部分热连通；第二加热装置,安置为与所述定位盘的径向外部分热连通,其中所述第一及第二加热装置相对于彼此可独立控制；及热沉,安置为与所述定位盘热连通,其中与所述热沉与所述定位盘的热连通的程度相比,所述第一及第二加热装置与所述定位盘处于较大相应程度的热连通。