本发明涉及用于热管理的背侧散热器的集成。一种微电子器件(100)包括半导体器件(102),其中,在该半导体器件(102)的前表面(104)处具有组件(108)并且在该半导体器件(102)的后表面(106)上具有背侧散热器层(110)。该背侧散热器层(110)的厚度为100纳米至3微米,具有至少150瓦特 (米·开尔文)的层内导热系数、以及小于100微欧姆厘米的电阻率。
一种热管理式太阳能电池系统(10a,10b,10c,10d)包括用于产 生电力和热量的光生伏打电池(12,102a,102b,202a,202b)。系 统(10a,10b,10c,10d)包括外壳(16)、底板(18)、和排热装 置(20,36,40,44,100,200,300)。外壳(16)包围太阳能电池 系统(10a,10b,10c,10d),并具有一敞开的后面部分。底板(18) 可设置在外壳(16)的敞口部分中,并支承光生伏打电(12)。底板 (18)还导热和散布由光生伏打电池(12,102a,102b,202a,202b) 产生的热量。排热装置(20,36,40,44,100,200,300)与底板作 为一个整体单元起作用,同时排热装置(20,36,40,44,100,200, 300)连接到底板(18)上,以便排除底板(18)中的热量。
热产生装置与热交换器接触地放置,所述热交换器流体连接到流体 泵。所述流体泵操作以泵送流体穿过在所述热交换器和可以耗散热的点之 间的封闭的流体系统。一方面,在不穿过所述泵的壁的情况下,致动器强 制流体被泵送。一方面使用阻抗泵作为泵送元件。
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