本发明涉及基板支撑组件及导热基底。基板支撑组件包括陶瓷定位盘与导热基底,该导热基底具有与陶瓷定位盘的下表面接合的上表面。该导热基底包括多个热区与多个热隔离器,该多个热隔离器从导热基底的上表面朝向导热基底的下表面延伸,其中该多个热隔离器中的每一个提供导热基底的上表面处的多个热区中的两个之间的近似热隔离。
本文中提供了多基板热管理设备的实施例。在一些实施例中,多基板热管理设备包括：多个板,所述多个板竖直地布置在彼此上方；多个通道,所述多个通道延伸穿过所述多个板中的每一个；供应歧管,所述供应歧管包括供应通道,所述供应通道在第一位置耦接到所述多个板；以及返回歧管,所述返回歧管包括返回通道,所述返回通道在第二位置通过多个支腿耦接到所述多个板,其中所述供应通道和所述返回通道被流体耦接到所述多个通道,以使传热流体流过所述多个板。
描述了切割半导体晶片的方法及设备,每一晶片具有多个集成电路。在示例中,切割具有多个集成电路的半导体晶片的方法涉及将基板载体所支撑的基板引入等离子体蚀刻腔室中。基板在其上具有经图案化的掩模,该经图案化的掩模覆盖集成电路并暴露基板的划道。基板载体具有背侧。该方法也涉及在等离子体蚀刻腔室的夹盘上支撑基板载体的背侧的至少一部分。该方法也涉及冷却基板载体的基本上全部的背侧,该冷却涉及由夹盘冷却基板载体的背侧的至少第一部分。该方法也涉及在执行冷却基板载体的基本上全部的背侧的同时经由划道等离子体蚀刻基板以切单集成电路。
本发明公开了一种直接甲醇燃料电池系统,包括：保温壳体、二次电源、电热装置、燃料混合室、液泵、气泵、燃料电池电堆和水热管理装置,二次电源能够在燃料电池系统启动时为系统提供所需要的电能,待系统运行后反向为其充电,并在燃料电池发热时作为电能储存装置,燃料电池电堆是以甲醇水溶液为燃料,利用其与氧气反应产生电能。其中直接甲醇燃料电池通过由外部供给的氧气与甲醇之间的电化学反应发电,具有燃料洁净环保、电池结构简单、高比能量等特点,本系统通过将燃料电池的废热变废为宝,将耗电的传统风冷装置,改为系统保温循环散热,将燃料电池的热能储存,并进行利用,最终实现在低温环境下可长时间储存使用。
本发明公开了一种基于偏振多通侧面泵浦的直接液冷阵列分布式增益激光器,涉及高能激光技术领域。所述增益单元(I1、I2)包括直接液冷的阵列式分布增益模块(7、17),增益模块一侧设置有第一泵浦模块和1 2波片,另一侧设置有第二泵浦模块。所述第一泵浦模块依次包括第一激光二极管阵列泵浦源、第一快轴整形镜、第一慢轴整形镜、第一反射镜、第一偏振分光镜；所述第二泵浦模块依次包括第二激光二极管阵列泵浦源、第二快轴整形镜、第二慢轴整形镜、第二反射镜、第二偏振分光镜。与现有技术相比本发明具有输出功率高、热管理方式优秀以及输出激光光束质量好等优势,在高功率激光器领域中具有重要的应用前景。
本发明公开了一种基于LTCC工艺的大尺度微流道制作方法,属于元器件技术领域,其步骤包括：制作牺牲材料预制块粗坯和支撑材料预制块粗坯,加工复合牺牲预制块,在LTCC基板叠层工艺时将复合牺牲预制块放入LTCC基板生瓷中,将复合牺牲预制块、LTCC生瓷基板压合并烧结,进一步加工成形；本发明的基于LTCC工艺的大尺度微流道制作技术,其优点是材料简单,工艺兼容性好,易于加工,能够制作截面积为20*0 35mm的大尺度微流道,从而大大降低了微流道LTCC产品设计和加工难度；也大大增强了LTCC基板的冷却能力,从而满足高热流密度热管理需求,具有很强的实用价值。
本实用新型涉及氢燃料电池技术领域,尤其涉及一种质子交换膜氢燃料电池堆输出保护装置,由膜电极单体电压检测电路、氢燃料电池堆主控电路、电堆输出继电器构成,其中氢燃料电池堆中串联的n个膜电极单体E1～En的正负电极C0～Cn依次接入膜电极单体电压检测电路,氢燃料电池堆主控电路负责接收膜电极单体的工作电压数据,计算膜电极单体的最低电压和平均电压数值及其两者的比值数据,通过数字IO接口去控制氢气侧和氧气侧的电磁阀、风机、水热管理系统等执行器的工作状态。本装置是能够实现将氢燃料电池堆膜电极单体最低电压和平均电压这2个输出保护指标检测与电池堆的温度、压力、流量等环境变量检测相互关联。
本实用新型公开了一种教学机房用计算机热管理装置,主要涉及计算机设备领域。包括控制箱,控制箱的上侧开口,控制箱的上侧开口处设有盖体,控制箱的右侧设有主散热扇,控制箱的前侧设有辅助散热扇,主散热扇、辅助散热扇的内侧均固定有防尘网,控制箱的内壁上固定有温度传感器,温度传感器线路连接有温控开关,温控开关与辅助散热扇电路连接,控制箱的底部固定有卡块,计算机机箱上设有与卡块配合使用的卡槽,卡槽的左侧设有限位块,卡槽的右侧开有滑槽,滑槽内滑动连接有滑块。本实用新型的有益效果在于：它可以根据教学机房中控制箱内的具体温度进行散热,延长装置的使用寿命,并且轻易地实现控制箱的固定和拆卸,便于使用和维修。
本发明公开了一种基于偏振多通侧面泵浦的直接液冷阵列分布式增益激光器,涉及高能激光技术领域。所述增益单元(I1、I2)包括直接液冷的阵列式分布增益模块(7、17),增益模块一侧设置有第一泵浦模块和1 2波片,另一侧设置有第二泵浦模块。所述第一泵浦模块依次包括第一激光二极管阵列泵浦源、第一快轴整形镜、第一慢轴整形镜、第一反射镜、第一偏振分光镜；所述第二泵浦模块依次包括第二激光二极管阵列泵浦源、第二快轴整形镜、第二慢轴整形镜、第二反射镜、第二偏振分光镜。与现有技术相比本发明具有输出功率高、热管理方式优秀以及输出激光光束质量好等优势,在高功率激光器领域中具有重要的应用前景。
本发明涉及氢燃料电池技术领域,尤其涉及一种质子交换膜氢燃料电池堆输出保护装置,由膜电极单体电压检测电路、氢燃料电池堆主控电路、电堆输出继电器构成,其中氢燃料电池堆中串联的n个膜电极单体E1～En的正负电极C0～Cn依次接入膜电极单体电压检测电路,氢燃料电池堆主控电路负责接收膜电极单体的工作电压数据,计算膜电极单体的最低电压和平均电压数值及其两者的比值数据,通过数字IO接口去控制氢气侧和氧气侧的电磁阀、风机、水热管理系统等执行器的工作状态。本装置是能够实现将氢燃料电池堆膜电极单体最低电压和平均电压这2个输出保护指标检测与电池堆的温度、压力、流量等环境变量检测相互关联。
基板支撑组件包括陶瓷定位盘与导热基底,该导热基底具有与陶瓷定位盘的下表面接合的上表面。该导热基底包括数个热区与数个热隔离器,该数个热隔离器从导热基底的上表面朝向导热基底的下表面延伸,其中该数个热隔离器中的每一个提供导热基底的上表面处的数个热区中的两个之间的近似热隔离。
本发明公开了一种回收并电解CO2制备CO的方法及装置。装置包括依次连接的一CO2吸收与再生系统、一CO2电解制CO系统、一PSA气体分离系统,还包括与“CO2吸收与再生系统、CO2电解制CO系统、PSA气体分离系统”分别相连接一热管理及气体监控系统。采用上述装置可实现回收并电解CO2制备CO,其原料为净化后的燃煤锅炉烟气,可适用于排放大量高温CO2的燃煤锅炉厂、火电厂和钢铁厂等场所,适用范围较广；还具有系统模块化组成,CO产量规模可调、操作简单、安全性高、投资小等特点。
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