具有热管理的堆叠半导体芯片设备

提供一种包括将热管理设备(75)与半导体芯片设备(10)的第一半导体芯片(35)热接触放置的制造方法。所述半导体芯片设备包括耦接到所述第一半导体芯片的第一基板(60)。所述第一基板具有第一孔径(70)。所述第一半导体芯片和所述热管理设备中至少一个至少部分位于所述第一孔径中。